本报讯 记者杨学聪报道：截至今年11月，中芯国际北京厂应用国产设备加工的12英寸正式产品晶圆加工打破1000万片次。这标记着国产设备技术和市场竞争力迈上了一个新台阶，也象征着在以精细、严苛著称的集成电路生产范畴，国产设备正通过入口替换，稳步走向“前台”。
12英寸集成电路国产设备是实现我国集成电路芯片自主制作的基本，设备要求高，体系庞杂，相称长时光内，重要由美日德等设备供应商供给。2008年，国度科技重大专项02专项组织“产学研”结合开发，把目的直接定在世界上最进步的40纳米跟28纳米技术节点，并由行业的龙头企业牵头。
跟着专项的顺利实行，集成电路生产制造症结设备实现国产化并为国产设备在中国集成电路产业链中的大面积利用翻开了局势。2015年，中芯国际北京厂新增包含干法刻蚀机、物理气相沉积设备、单片退火炉设备等在内的国产设备主机台及从属机台数百台。这些国产设备杰出地通过了28纳米至90纳米技术节点的大生产线验证，与进口设备同台竞技。
国产装备进入集成电路生产线难在哪？“以往的摸索式研讨只须要单点冲破，100次尝试有一次成功就能够宣布成功了。当初要供给大出产技巧，必须100次都成功，而且胜利的成果还必需完整一样，发散一点儿都不行。”中芯北方副总经理张昕告知记者，在高危险、高投入的集成电路工业，设备的设计也要转变在试验室里闭门造车的习惯，要预先晓得生产的详细请求，随时改良，独特开发。
值得留神的是，目前中芯国际北京厂使用的国产设备中，有相称一局部产自其所在的北京经济技术开发区。与中芯国际北京厂“比邻”的北方华创，已成功开发了以刻蚀设备、化学气相沉积设备、物理气相沉积设备三大类半导体装备产品为基础的20余类产品，成功替代国外厂商同类产品。
“区域的集成电路产业链布局为实现芯片制造设备国产化奠定了坚实基础，开发区已构成集制造、封测、装备、零部件及资料、设计企业在内的齐备产业链。”北京经济技术开发区投资增进局局长王延卫告诉记者，目前亦庄集成电路产业范围占北京市的二分之一。
一批代表企业及研究机构要害装备及材料、先进工艺的开发及产业化等方面获得一批代表国家最高程度的结果，为我国集成电路产业实现自主发展奠定了坚实基础，也确破了北京在全国集成电路产业布局中的领先位置。
将来，亦庄开发区将致力于成为寰球当先的，先进新型存储器、基带芯片和射频电路、电力电子及功率器件、集成电路代工及装备四大高精尖领域的研发制造核心。同时，以树立高低游价值链、整合产业生态链、打造存在国际竞争力的大企业为依靠，踊跃推动中国集成电路产业的技术立异、模式创新、轨制翻新，实现全产业链在京津冀地域布局集群发展，成为中国集成电路产业的中心区与承载地。
本文章来自【上海人才网】
